Im Bereich Fertigungstechnik erforschen wir Verfahren und Methoden zur Herstellung von einzelnen Bauteilen bis hin zu fertigen Produkten. Der technologische Wandel durch Innovation, sowie der Wettbewerb in einem turbulenten wirtschaflichen Umfeld sind dabei wichtige Einflussgrößen.
Die Ziele sind neben der Prozessbeherrschung, die Fortentwicklung der Automatisierung, die Verbesserung der Qualität und das Sparen von Kosten und Zeit.
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik konzentriert sich auf den Entwurf, die Auslegung und die Fertigung von Mikrosystemen, die Charakterisierung von mikro- und nanoskaligen Strukturen, sowie Sensor- und Aktorsysteme.